純水自動昇圧ユニット

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特徴

純水をプロセス装置が必要な時に、任意の圧力に制御し供給
◆コンパクト設計
◆自動圧力調整機能搭載機最小
◆ウエハ洗浄装置の効果を最大化
◆プロセス時の純水流量を増大し洗浄効率UP

機能

◆プロセス装置との同期
◆漏水時自動停止
◆タッチパネルよる簡単圧力設定
◆純水フィルター内蔵

納入実績

◆薬液メーカー
◆半導体デバイスメーカー
◆半導体製造装置メーカー

サイズ

◆W500×D300×H865