株式会社 TOD
株式会社 TOD
Technology On Demand
  • 製品
  • サービス
  • お問い合わせ
  • アクセス
  • 会社概要
スラリー供給装置

スラリー供給システム

スラリーを任意に設定した濃度で希釈を行い、CMPに供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成
・原液タンク撹拌ユニット搭載
薬液希釈供給装置

薬液希釈供給システム

薬液(酸/アルカリ)を任意に設定した濃度で希釈を行い、ウエハ洗浄装置に供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成
Copyright 2020 TOD,Inc. All Rights Reserved.