スラリー供給システム

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特徴

スラリーを任意に設定した濃度で希釈を行い、CMPに供給
◆薬液混合タイプ、原液供給タイプ有
◆コンパクト設計
◆業界最小の研究用装置をラインナップ
◆フレキシブルな装置構成
◆ユーザーのスラリー種、使用量に最適なシステムを提案
◆研究用から量産用への装置アップグレードに対応
◆原液タンク撹拌ユニット
◆セリアスラリーのセット前にポリタンクを回転させ撹拌
◆回転時間を任意に設定可能

機能

◆スラリー原液ドラム自動撹拌
◆デュアル供給タンク方式
◆スラリー供給タンクの自動洗浄
◆高精度なスラリー希釈率の設定
◆クローズドループ方式によるスラリー固形化防止
◆タッチパネルによる直感的な操作
◆添加剤フィードバック

納入実績

◆スラリー＆CMPメーカー
◆半導体デバイスメーカー

サイズ

◆W810×D450×H1310(最小構成）