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株式会社TOD本社: 〒252-0244
神奈川県相模原市中央区田名1892-1
神奈川中央交通、田名バスターミナルより徒歩2分; TEL 042-764-4442; FAX 042-764-4443

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スラリー供給装置

スラリー供給システム

スラリーを任意に設定した濃度で希釈を行い、CMPに供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成
・原液タンク撹拌ユニット搭載

薬液希釈供給装置

薬液希釈供給システム

薬液（酸/アルカリ）を任意に設定した濃度で希釈を行い、ウエハ洗浄装置に供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成