会社概要

商号: 株式会社TOD

設立: 2010年4月

所在地: 〒252-0244
神奈川県相模原市中央区田名1892-1

代表取締役: 小椋　誠司

資本金: 10,000,000円

取引銀行: 三菱UFJ銀行　相模原支店
楽天銀行　ビート支店

スラリー供給システム

スラリーを任意に設定した濃度で希釈を行い、CMPに供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成
・原液タンク撹拌ユニット搭載

薬液希釈供給システム

薬液（酸/アルカリ）を任意に設定した濃度で希釈を行い、ウエハ洗浄装置に供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成