株式会社 TOD
Technology On Demand
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半導体プロセス装置周辺機器の設計、製造
半導体プロセス装置及び周辺機器の改造
半導体プロセス装置及び周辺機器の移設
オーバーホール作業
装置仕様変更(ソフト/ハードウェア変更)
各種パーツ販売
中古装置販売
スラリー供給システム
スラリーを任意に設定した濃度で希釈を行い、CMPに供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成
・原液タンク撹拌ユニット搭載
薬液希釈供給システム
薬液(酸/アルカリ)を任意に設定した濃度で希釈を行い、ウエハ洗浄装置に供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成