薬液希釈供給システム

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特徴

薬液（酸/アルカリ）を任意に設定した濃度で希釈を行い、ウエハ洗浄装置に供給
◆コンパクト設計
◆業界最小の研究用装置をラインナップ
◆フレキシブルな装置構成
◆ユーザーの薬液使用量に最適なシステムを提案
◆研究用から量産用への装置アップグレードに対応

機能

◆デュアル供給タンク方式
◆高精度な薬液希釈率の設定
◆タッチパネルによる直感的な操作

納入実績

◆薬液メーカー
◆半導体デバイスメーカー

サイズ

◆W810×D450×H1310(最小構成）