バルブ監視システム

特徴
プロセス装置のバルブの動作をセンサーにより監視し状態を画面に表示
◆開閉動作監視による不良品発生予測
◆製品救済レシピの自動スタート
◆装置アラームとの一元化及びアラームレベルの振り分け
◆動作回数管理による故障予知
◆流量管理オプション
機能
◆アラーム発報
◆オートアボート（レシピ対応）
◆開閉数カウント
◆バルブライフ設定
納入実績
◆半導体製造装置メーカー
◆半導体デバイスメーカー