株式会社 TOD
Technology On Demand
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会社概要
廃液マネージメントシステム
特徴
プロセス装置の廃液を任意に切り替え、廃液量を削減
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処理コストの高い廃液の大幅削減
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最適な行き先に最適な量を廃液
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人為的リスク防止
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動作回数管理による故障予知
機能
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タッチパネルによる直感的な操作
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フェイルセーフ
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開閉数カウント
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バルブライフ管理
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緊急時手動操作モード
納入実績
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薬液メーカー
スラリー供給システム
スラリーを任意に設定した濃度で希釈を行い、CMPに供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成
・原液タンク撹拌ユニット搭載
薬液希釈供給システム
薬液(酸/アルカリ)を任意に設定した濃度で希釈を行い、ウエハ洗浄装置に供給
・コンパクト設計
・フレキシブルな装置構成